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    基于石墨烯的標準漏孔及制備方法

    1015   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:17:29
    本發明提供了一種基于石墨烯的標準漏孔及制備方法，用以解決現有技術中檢漏系統校準時漏率不穩定、存在泄漏的問題。所述基于石墨烯的標準漏孔包括氣源室、滲氦組件和金屬刀口法蘭，滲氦組件包括滲透部和固定部，氣源室與滲透部一側連通，滲透部另一側與待校準檢漏系統的真空室連通，且兩側連通處均通過金屬刀口法蘭密封；滲透部依次由垂直于固定部的壓力側石英玻璃、銅箔、石墨烯薄膜和真空側石英玻璃貼合組成；石墨烯薄膜為多孔或有缺陷的石墨烯；銅箔的壓力側貼合有石墨烯薄膜，真空側具有化學腐蝕形成的通孔。本發明消除了漏孔的氣體泄漏，提高了漏率的穩定性；且漏率達10?14Pa·m3/s，提高了質譜檢漏的校準準確度和精度。
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    “基于石墨烯的標準漏孔及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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