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    磁阻器件、巨磁阻器件及其制造方法

    801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:23:04
    公開了一種磁阻傳感器(30)和一種用電化學淀積來生產磁阻傳感器(30)的方法。用導電涂層(12)涂敷絕緣基底(11),以準備電化學淀積、電鍍用的絕緣基底。導電涂層(112)稍后被圖形化,以防止金屬區短路。用金屬層(131)和磁性合金對導電涂層進行電鍍。對此層進行腐蝕以形成4個被互連成惠斯登電橋(473)結構的分隔開的區域,以便形成能夠探測外加磁場(100)變化的傳感器。在某些實施例中,為了提高傳感器的靈敏度,各個磁性層被非磁性層(114)分隔開。在其它的實施例中,增加了磁極片元件,以便將磁場聚焦到4個區域中的二個上。
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