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    新型熱驅動微型執行器

    1117   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:36
    本發明涉及微機器人技術在細胞操作和分離方面的應用技術,具體地說是一種基于Parylene C聚合材料、可實現液體環境中細胞操作的新型熱驅動微執行器;為固定在硅基底上的多懸臂梁結構,每個懸臂梁為parylene C夾持電阻材料的三層結構。其加工工藝采用MEMS平面印刷技術。本發明具有可電熱制動效果,parylene C作為熱/電/化學隔離材料,可使電阻材料構成的加熱器不暴露在液體里,因而具有良好的生物適用性和液體環境適應性;可以在控制溫度的方式下實現對細胞的操作和分離,可為細胞的定位探測、注射和測量提供自動化操作應用。
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