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    基于微機電系統的垂直探針

    822   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:37
    本實用新型公開了一種基于微機電系統的垂直探針,包括探針主體,所述探針主體包括第一端部、第二端部,以及位于第一端部、第二端部之間,分別與第一端部、第二端部相連的彈性連接部,所述第一端部、第二端部、彈性連接部為一體結構,所述彈性連接部與所述第二端部形成連續的半圓弧狀結構,所述探針主體采用光化學蝕刻制作而成。本實用新型的垂直探針的尺寸誤差較小,產品的一致性較好,從而避免了在測試過程中由于尺寸誤差導致的測試誤差。
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    “基于微機電系統的垂直探針” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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