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    用于防止霧度的掩模表膜指示物

    1111   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:59
    本發明涉及一種用于防止霧度的掩模表膜指示物。具體而言，本發明提供一種表膜掩模組合件，其包含掩模、表膜框架和表膜薄膜。所述表膜框架具有附著到所述掩模的底側和由所述表膜薄膜覆蓋的頂側。所述表膜框架包含在其內表面上的涂層且所述涂層經配置以監測所述表膜掩模組合件內部的環境變化。在實施例中，所述環境變化包含所述表膜掩模組合件內部增大的濕度和/或增大的化學離子密度。還揭示制造和使用所述表膜掩模組合件的方法。
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    “用于防止霧度的掩模表膜指示物” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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