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    高純度六氯化鎢及其制備方法

    833   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:03
    可冷凝金屬鹵化物材料(例如但不限于鎢氯化物(WCl6))可用于在化學氣相沉積(CVD)或原子層沉積工藝中沉積金屬膜或含金屬膜。本文描述了包含可冷凝材料的高純度組合物和純化可冷凝材料的方法。在一個方面，提供了一種組合物，其包含：基本上沒有至少一種雜質的六氯化鎢，其中如通過X射線衍射測量的，該六氯化鎢包含至少90重量％、優選95重量％和更優選99重量％或更多的β?WCl6及5重量％或更少的α?WCl6。
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    化學分析
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