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    無損、快速、準確表征四面體非晶碳薄膜鍵態結構的方法

    1014   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:04
    本發明公開了一種無損、快速、準確表征ta-C膜鍵態結構的方法。首先，在石英或硅襯底上制備ta-C薄膜，然后利用紫外/可見/近紅外分光光度計與光譜型橢偏儀分別測量ta-C薄膜的透射率T與橢偏參數Ψ和Δ，再以該參數為擬合參數，通過建立襯底層、ta-C薄膜層以及表面粗糙層的數學物理模型求解ta-C薄膜厚度df、折射率nf及消光系數kf，最后分別確定具有純sp2C、純sp3C鍵態的材料的光學常數，在EMA近似下采用Bruggeman算法擬合，即得到ta-C薄膜中化學鍵sp3/sp2的含量。與現有的表征方法相比，本發明具有對樣品要求低、表征過程快速簡單易行，對樣品無損壞，以及表征精度與準確性較高的優點，具有良好的推廣應用價值。
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    化學分析
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