本發明涉及基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器。該加速度傳感器包括表面等離子體共振折射率傳感器和氣體膜盒。利用氣體膜盒作為第一級加速度敏感元件,將輸入的加速度變化轉化為新型氣體膜盒內傳感氣體的折射率變化,通過表面等離子體共振折射率傳感器測量出折射率的變化,該折射率變化與輸入加速度的大小成正比。本發明將在生物、化學傳感領域廣泛應用的SPR傳感技術與新型氣體膜盒相結合,應用于加速度傳感中,具有靈敏度高、結構簡單等特點。
聲明:
“基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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