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    大曲率微小件表面多層金屬薄膜的無損檢測方法

    884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:53
    本發明公開一種大曲率微小件表面多層金屬薄膜的無損檢測方法，包括以下步驟：S1：采用同步輻射X射線微束技術對樣品進行檢測；S2：采用切入射方法獲得表面金屬膜層的衍射信號，通過轉動樣品，使樣品與入射X射線相切，入射X射線與樣品表面夾角趨近于0°，進而獲得表面金屬膜層的衍射信號；S3：采用掠入射方法獲得中間金屬膜層的衍射信號，通過轉動樣品，使樣品中間層與入射X射線形成夾角，夾角小于5°，進而獲得中間層金屬薄膜鍍層的衍射信號；S4：采用透射方法對衍射信號進行校準，此時轉動樣品，使X射線水平穿透2層復合鍍層，從而獲得2套衍射信號以輔助校準；采用具有高亮度的同步輻射光源和同步輻射微束技術獲得微米級的空間分辨率。
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    “大曲率微小件表面多層金屬薄膜的無損檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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