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    干涉激光超聲無損檢測方法及系統

    957   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:56
    本發明涉及干涉激光超聲無損檢測系統,包括:激光激勵組件用以向工件發射脈沖激光;聚焦鏡布置在第二激光器的出光口處;第一點陣金屬膜半透半反鏡傾斜布置,且金屬膜面朝向聚焦鏡的出光側;第二點陣金屬膜半透半反鏡傾斜布置,且背離金屬膜面的一面朝向第一點陣金屬膜半透半反鏡的金屬膜面;光電探測器其布置在第二點陣金屬膜半透半反鏡的金屬膜面側;信號處理器與光電探測器電連接。不再使用分光鏡,而是采用兩塊點陣金屬膜半透半反鏡,解決了傳統分光鏡造成的回光損失以及損傷激光器和自身引入雜光帶來的影響,可實現多角度反射和透射,采用分光路干涉,光路沒有干擾;器件少易于實現小型化;實現穩定、便攜、高精度要求。
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