本發明屬于微球結構器件尺寸參數均勻度的測量技術領域,具體涉及一種無損測量微球直徑均勻度的測量裝置及方法。本發明的目的是解決微球直徑均勻度的測量和標定過程中對微球產生破環性而無法重復使用的問題。本發明包括測試激光器、納米光纖、待測微球和光電探測器,所述測試激光器與納米光纖的輸入端連接,所述納米光纖的輸出端與光電探測器的輸入端連接。本發明微球接觸納米光纖的過程只是點接觸,對微球透射率及表面特性沒有影響,測量后微球可以繼續使用,能夠無損測量微球直徑均勻度。
聲明:
“無損測量微球直徑均勻度的測量裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)