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    無損方阻及絨面測量裝置

    1039   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:57:58
    本發明提供的無損方阻及絨面測量裝置，屬于半導體檢測技術領域，包括激光發射器、反射率檢測片、電容線圈組、第一放大器板和采樣測量裝置；激光發射器發射激光至半導體上產生光電壓；電容線圈組接收光電壓產生的靜電荷；反射率檢測片接收半導體反射的激光，將光信號轉換為電信號；第一放大器板接收靜電荷和電信號，并進行預處理得到第一中間數據和反射率檢測片接收功率；采樣測量裝置接收第一中間數據和反射率檢測片接收功率，并計算得到待測半導體的方阻值和絨面反射率。本發明在不損傷半導體絨面進行方阻測量的同時實時對絨面反射率進行檢測，既規避了現有的方阻測量給絨面帶來的損傷，也能實時在線檢測絨面的質量，提高了半導體質量檢測效率。
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    聲明：
    “無損方阻及絨面測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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