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    碳化硅晶體導電類型的無損判定方法

    802   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:00
    本發明涉及一種碳化硅晶體導電類型的無損判定方法，使用紫外?可見?近紅外分光光度計，對待測的SiC樣品進行光譜透過率測量，探測光的入射方向為沿SiC晶片的c軸方向，測量指標為吸光度，根據公式α=｛A﹢2log10(1?R)｝/(d/ln10)（1）計算得到碳化硅樣品的吸收系數隨波長變化關系的吸收系數曲線，從曲線中獲得紫外吸收邊位置Eg；根據半絕緣類型的紫外吸收邊位置判定標志與吸收邊位置Eg進行比較，獲得半絕緣晶片導電類型，有益效果是采用基于光譜分析法，對高純半絕緣碳化硅晶片的導電類型進行檢測和篩分的方法，對待測樣品無損傷，檢測過程易于自動化和程序控制，可對出廠產品進行全面檢驗，也可應用于目前市場存在的2、3、4、6英寸完整晶圓產品檢驗。
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