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    缺陷檢測裝置、方法及發光信號的獲得方法

    894   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:11
    本發明涉及缺陷檢測裝置，涉及缺陷檢測技術，包括：激發裝置，用于向被檢測結構施加不同激發源，而使被檢測結構在不同激發源下產生不同的發光信號；接受裝置，用于獲得被檢測結構產生的發光信號；以及計算單元，接收接受裝置輸出的發光信號，并根據被檢測結構在不同激發源下產生的不同的發光信號計算獲得被檢測結構的某一層的發光信號，而為被檢測結構的優化指明方向，且快速、無損。
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    “缺陷檢測裝置、方法及發光信號的獲得方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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