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    硬脆光學材料的低亞表面損傷檢測方法

    938   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:12
    本發明涉及一種硬脆光學材料的低亞表面損傷檢測方法，該方法通過測試儀器準備、樣品表面損傷的檢測來獲得待測樣品的布儒斯特角，并進一步利用該布儒斯特角表征樣品的表界面粗糙度。其中，測試儀器包括刻度盤、載物臺、激光器、第一偏振片、光強度計及第二偏振片，結構簡單、成本低，利用線偏振光準確地測出了入射到樣品上的光線的布儒斯特角大小，并以此表征樣品的表界面粗糙度，可將測量偏差保持在1/100以內，檢測結果準確率高，且檢測方法簡單、快速，對待檢測樣品的表面無損傷；同時，本發明的方法還可以用于測量光學元件其他的微表面結構，并能達到納米量級的表面微結構的檢測，為制備出高質量的高損傷閾值薄膜提供了條件。
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