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    基于X射線的LED芯片缺陷自動檢測設備及方法

    863   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:14
    本發明公開了一種基于X射線的LED芯片缺陷自動檢測設備，其具有X射線檢測主體及屏蔽殼體；其中，X射線檢測主體具有：X射線源，其產生的X射線照射置于載物臺上的待檢芯片；探測器，其探測穿過待檢芯片的X射線；芯片夾具，其以可脫離的形式定位于載物臺上，芯片夾具設有若干個芯片槽；運動平臺，其被配置為實現載物臺在X、Y和Z三方向上的運動；以及控制系統，其被配置為實時獲取運動平臺的位置坐標，并按一定路徑驅動運動平臺。本發明還提供了一種基于X射線的LED芯片缺陷自動檢測方法。本發明可將隱藏的芯片內部的缺陷呈現在圖像當中，并通過對缺陷部分的自動識別和提取，實現LED芯片的快速、無損和自動化批量檢測。
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