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    高分辨無接觸在線檢測同步輻射單色器熱畸變干涉裝置

    944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:19
    一種高分辨無接觸在線檢測同步輻射單色器熱畸變干涉裝置,其特征在于它的結構是:在激光光源輸出光束的前進方向依次設擴束望遠鏡和第一分束器,該第一分束器的透射光束A與待測的硅單晶單色器成一夾角,其反射光束經第二全反射鏡反射而入射到第二分束器再反射進入探測器,該第一分束器的反射光束B經第一反射鏡的反射入射到第二分束器,其透射光束B與光束A疊加形成干涉光束,探測器的記錄界面垂直于該干涉光束,探測器的信號線接計算機。本實用新型具有高分辨、無損傷、無接觸、在線檢測的優點,分辨能力達到λ/20。
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