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    半導體硅片表面/亞表面微裂紋損傷線性調頻脈沖分束激光激勵紅外熱波檢測裝置及方法

    748   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:22
    本發明公開了一種半導體硅片表面/亞表面微裂紋損傷線性調頻脈沖分束激光激勵紅外熱波檢測裝置及方法，所述裝置包括計算機、紅外熱像儀、同步觸發器、函數發生器、激光驅動器、激光器、放大器組件，所述計算機通過數據線與同步觸發器相連，同步觸發器通過數據線與函數發生器相連，函數發生器通過數據線與激光驅動器相連，激光驅動器通過數據線與激光器相連，激光器輸出的激光經放大器組件輸出；所述計算機通過數據線與紅外熱像儀相連。本發明將線性調頻脈沖原理、分束激光激勵、紅外熱波檢測與先進信號處理算法相結合，實現對半導體硅片表面/亞表面微裂紋損傷的線性調頻脈沖分束激光激勵紅外熱波無損檢測。
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