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    基于微波探測技術的半導體亞表面信息測試系統

    1012   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:23
    本發明公開了一種基于微波探測技術的半導體亞表面信息測試系統，屬于微波探測技術領域，為亞表面信息的無損檢測提供了一種新的方法。本系統主要包含三個模塊：樣品檢測模塊、信號收發模塊、控制模塊。首先通過信號收發模塊產生一設定頻率的微波信號，并將該微波信號輸入到樣品檢測模塊當中，樣品檢測模塊將該信號通過探針輻射向待測樣品，由于微波具有穿透性，因此該微波信號可以穿過樣品表面輻射入樣品內部進行無損探測，最終的信號將重新回到信號收發模塊中進行顯示及分析，從而得出進一步的結論。本發明采用了微波探測手段實現了無損探測，并通過樣品檢測模塊的分級步進實現了更大范圍的探測。
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