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    基于波長可調諧光場測量技術的三維形貌測量方法及裝置

    1051   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:23
    本發明為一種基于波長可調諧光場測量技術的三維形貌測量方法及裝置，屬于光學精密檢測技術領域。測量裝置由可調諧激光器、第一分光裝置、反射鏡、第一擴束系統、第二擴束系統、第二分光裝置、相機組成；測量方法為使用測量激光照射在被測樣品表面形成對應的干涉圖，通過光場解算技術解算被測樣品表面的相位分布，通過激光調諧技術產生多個測量光束實現量程拓展，最終完成物體表面三維形貌測量。本發明具有對被測表面粗糙度的適應范圍寬、量程適配性強、非接觸、高精度等特點，能夠實現對待測件的無損檢測，可廣泛應用于半導體、光學、航空航天等高精密檢測領域。
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