一種電光晶體通光面法線與晶體光軸的夾角測量裝置和方法,該裝置中的主要元件包括:線偏振光激光器、第一透鏡、小孔光闌、第二透鏡、分光鏡、平面反射鏡、接收屏、第三透鏡、一維精密電動位移臺、第四透鏡、線偏振片、第五透鏡、圖像探測器和計算機,裝調光路須用到數字光電自準直儀和一塊平行度為1″的平行平板玻璃等。本發明實現了待測電光晶體非接觸式無損檢測,克服了現有方法中的晶體易產生劃痕、測量裝置難以搭建和錐光干涉圖難以分析等一系列問題。本發明更換不同F數的第三透鏡和第四透鏡,可對不同厚度的電光晶體進行測量。本發明測量的數據重復性很好,與現有的X射線晶體定向儀測量的數據進行比較,相對誤差在30″以內。
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