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    用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法及裝置

    841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:33
    本發明涉及用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法及裝置。提供了一種MEMS微梁材料楊氏模量原位測量方法，該方法包括：獲取MEMS微梁的結構參數；獲取MEMS微梁的吸合電壓、固有頻率和振型函數；根據MEMS微梁的結構參數、吸合電壓、固有頻率和振型函數，確定MEMS微梁的厚度；根據結構參數、振型函數、厚度和吸合電壓或者根據結構參數、振型函數、厚度和和固有頻率，確定MEMS微梁的楊氏模量。其中，結構參數包括MEMS微梁的長度、寬度和高度，高度為MEMS微梁的上表面與位于MEMS微梁下方的底部電極的上表面之間的距離。通過采用上述測量方法，能夠在MEMS微梁厚度未知的情況下測量微梁材料的楊氏模量，實現楊氏模量的無損原位測量。
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    “用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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