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    InAs/GaSb超晶格紅外探測器及其制作方法

    1028   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:40
    本發明公開了一種InAs/GaSb超晶格紅外探測器及其制作方法，針對現有技術中，在外延生長數百周期InAs/GaSb超晶格材料時，InAs與GaSb之間存在晶格失配，累積的應力導致InAs/GaSb超晶格材料中形成大量的生長缺陷的問題，本發明提出一種兩步Sb浸潤的方法，在生長InAs層之后先沉積一層Sb，形成富Sb表面，然后沉積In，之后再沉積一層Sb，使In與Sb充分反應，形成高質量的InSb界面層，以此平衡和消除InAs與GaSb之間的應力，提高InAs/GaSb超晶格材料的質量。同時，本發明在InAs/GaSb超晶格結構和GaSb襯底之間引入AlAsSb犧牲層，實現了襯底的無損剝離。
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    “InAs/GaSb超晶格紅外探測器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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