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    混合振膜結構寬頻帶電容式微機械超聲換能器設計方法

    800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:50
    本發明涉及超聲成像、醫學診斷、無損檢測、液體流量測量、故障定位、生化氣體探測等領域的超聲換能器，具體為一種混合振膜結構寬頻帶電容式微機械超聲換能器設計方法。一種混合振膜結構寬頻帶電容式微機械超聲換能器設計方法，包括集成在一個芯片上且排成N×N矩形陣列的多個CMUT微元，N為奇數；每行CMUT微元均由N個發射聲壓頻率各不相同的CMUT微元組成，不同行的CMUT微元均由這N個微元排列組成；每行CMUT微元按照發射聲壓頻率依次遞增或遞減的方式排列且相鄰兩行的增減排列順序相反；每行CMUT微元中，相鄰微元的發射聲壓頻率有重疊；每行CMUT微元中位于中心的微元共振頻率與整個電容式微機械超聲換能器的共振頻率相同。
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    “混合振膜結構寬頻帶電容式微機械超聲換能器設計方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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