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    用于確定導電型碳化硅晶片的硅面和碳面的方法

    957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:26
    本發明提供一種用于確定導電型碳化硅晶片的硅面和碳面的方法，其包括如下步驟：(1)通過SKPFM測定導電型碳化硅晶片的第一表面和與所述第一表面相對的第二表面分別與導電針尖的接觸電勢差，獲得第一表面的接觸電勢差和第二表面的接觸電勢差；(2)將所述第一表面的接觸電勢差和第二表面的接觸電勢差進行比較；其中，如果所述第一表面的接觸電勢差大于第二表面的接觸電勢差，則所述第一表面為碳面，所述第二表面為硅面；如果所述第一表面的接觸電勢差小于第二表面的接觸電勢差，則所述第一表面為硅面，所述第二表面為碳面。本發明的方法是一種高效、無損、高可靠性的用于確定SiC晶片的Si面和C面的方法。
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    聲明：
    “用于確定導電型碳化硅晶片的硅面和碳面的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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