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    目標晶粒的區分方法及封裝芯片的失效分析方法

    820   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:31
    本發明涉及一種目標晶粒的區分方法及封裝芯片的失效分析方法，所述目標晶粒的區分方法包括：獲取具有多顆晶粒的樣品，其中至少一個晶粒為目標晶粒，且至少暴露各晶粒邊緣的部分切割道區域；確定所述目標晶粒在所述樣品中的位置；通過在部分晶粒邊緣的切割道區域內形成激光標記，以區分所述目標晶粒和所述目標晶粒以外的晶粒；將所述多顆晶粒分離；根據各晶粒邊緣的切割道區域內是否形成有所述激光標記，分辨出其中的目標晶粒。上述目標晶粒的區分方法能夠提高區分效率，并且避免對目標晶粒造成損傷。
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    “目標晶粒的區分方法及封裝芯片的失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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