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    監測器件的低工作電壓失效的測試方法

    1043   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:33
    本發明公開了一種監測器件的低工作電壓失效的測試方法，涉及半導體領域。該方法為：建立多個測試結構，所有的所述測試結構的結構均相同；在每個所述測試結構上均放置有寬度不同的遮蓋板；對所有的所述測試結構進行離子摻雜，被遮蓋板覆蓋的區域不能進行離子摻雜，能進行離子摻雜的區域為所述測試結構的工作區間；同時測試所有所述測試結構的飽和電流和工作電壓，根據測試結果獲取所述測試結構所對應的工作區間是否存在是失效，從而獲取器件的低工作電壓是否失效。該方法能夠快速確認低工作電壓是否存在失效現象；批量快速找出制程在該類問題的工作區間，縮短了制程開發周期，有效節約了開發成本。
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    聲明：
    “監測器件的低工作電壓失效的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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