本發明屬于失效測試技術領域,涉及一種基于仿真技術的半導體器件TDDB失效測試方法。本發明利用計算機軟件對半導體TDDB進行仿真計算與需要昂貴的測試設備、人員、先期測試準備以及測試本身的大量時間的物理試驗測試相比,基于仿真技術的測試方法節省了大量的時間和成本。因此在最初的設計階段,運用計算機仿真技術針對半導體器件TDDB現象進行失效仿真分析,找出其設計中的薄弱環節,對于提到晶體管的可靠性乃至整個半導體器件的可靠性都要重要意義。
聲明:
“基于仿真技術的半導體器件TDDB失效測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)