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KLA Alpha-step D-300/D-600型-臺階儀
探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發和生產環境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應力的測量。 D-600配置200毫米自動移動樣品臺與先進的Keystone矯正的輔助光學系統。
產品描述
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應力的測量。創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。
探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{節的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。
主要功能
臺階高度：幾納米至1200μm
低觸力：0.03至15mg
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸：占地面積小
軟件：用戶友好的軟件界面
主要應用
臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應力：2D薄膜應力
工業應用
大學，研究實驗室和研究所
半導體和復合半導體
SIMS：二次離子質譜
LED：發光二極管
太陽能
MEMS：微電子機械系統
汽車
醫療設備
規格參數
掃描探針壓力: 0.03-15mg
垂直分辨率: 0.38 ?
Z測量重復精度: 5.0 ? 或 0.1%
最大垂直測量范圍: 1200um
具有雙向掃描測量的功能,方便定位和掃描
最大采樣點數120,000
掃描長度：55 mm/200mm(stitching);
掃描速度0.01-0.4mm/s
獨特的系統內置避震設計
30多種分析參數
XY方向150mmX178mm自動樣品運動臺
樣品臺尺寸200mm直徑，360度旋轉,可調傾斜角度+/-2度
500萬像素彩色攝像頭 配備Keystone視頻校正
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湖南 - 長沙
2025年08月07日 ~ 09日
