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    晶圓區域性問題的分析系統及方法

    719   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:56
    本發明揭示了一種晶圓區域性問題的分析系統及方法。本發明提供的晶圓區域性問題的分析系統包括失效抓取模塊，抓取每個測試點的失效情況；失效模型模塊，具有設定的失效模型；失效模型匹配模塊，根據所抓取的每個測試點的失效情況，與所述失效模型進行匹配，當獲得匹配時，輸出對應的多個測試點的位置和失效代碼；待處理模塊，根據所述多個測試點的位置，獲得在所述多個測試點周圍區域測試通過的點的位置，列為有風險的測試點。本發明使得測試通過的點更穩定，避免功能性分析滯后，提高了良率。
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    “晶圓區域性問題的分析系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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