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    驗證檢測設備檢測結果是否正確的方法

    751   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:59
    本發明公開了一種驗證檢測設備檢測結果是否正確的方法,涉及半導體的檢測工藝。該方法包括:提供具有工作區域和虛設區域的芯片,由數條位線和字線組成,虛設區域不參與工作區域的電路工作,虛設區域的位線或字線連接有熔絲,且與工作區域的預設位線或字線電路連接;打斷熔絲,工作區域的預設位線或字線失效,連接熔絲的虛設區域的位線或字線代替工作區域的預設位線或預設字線,得到失效的實際物理地址;使用檢測設備檢測芯片,輸出檢測物理地址;比較實際物理地址和檢測物理地址是否一致可檢測出該檢測設備是否正常。相較現有技術,熔絲比較大,方便使用聚焦離子束或激光進行打斷。在虛設區域加熔絲電路設計,不需要增加芯片的整體面積。
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