本發明公開了一種利用EDAX能譜儀測量輕元素SEC因子數據表的方法,本發明的步驟如下:(1)將某標樣的已知某輕元素含量作為標準值,對某標樣劃分不同的測量區域,選定在EDAX能譜儀的不同加速電壓,在每種加速電壓下重復下述操作:在每一測量區域中,改變所述EDAX能譜儀的定量分析程序中的SEC因子,找出使測得的所述某輕元素含量與標準值相同的SEC因子,將找出的SEC因子取算數平均值,得到所述某輕元素在不同加速電壓下的SEC因子數據表;(2)對所述某標樣中的其它輕元素重復步驟(1),得到某標樣中不同輕元素所對應的SEC因子數據表。本發明的有益效果是提高能譜儀對輕元素定量分析的準確性,為材質鑒別、材料研究、失效分析等工作提供有力的技術支持。
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