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    帶加熱單元的微型碳納米管濕度傳感器芯片

    1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:43
    帶加熱單元的微型碳納米管濕度傳感器芯片，涉及的是通過兼容于標準CMOSIC工藝制作微型碳納米管濕度傳感器的技術領域。解決了目前集成化濕度傳感器普遍存在著在高濕環境下濕度檢測困難及失效問題。它由硅襯底層、二氧化硅外延層、叉指電極結構的金屬一層、多個焊盤窗口、多個多晶硅電阻、多個多晶硅電阻連線的金屬二層、電源輸入接口、鈍化層、碳納米管濕度敏感薄膜構成；碳納米管濕度敏感薄膜的覆蓋工藝為不損害芯片的濺射工藝、絲網印刷工藝或者懸涂工藝；上述所有層結構及多個多晶硅電阻結構都是用CADENCE版圖繪制軟件，通過標準CMOSIC工藝制作；本發明能在高濕環境下對室溫條件下的濕度進行長期穩定、高速準確的檢測。
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