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    磁控濺射用鈣鈦礦型鐵酸釤靶材的制備方法

    915   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:28:29
    本發明涉及材料生產技術領域，具體涉及一種磁控濺射用鈣鈦礦型鐵酸釤靶材的制備方法；本發明在球磨過程中粘合劑的使用能有效地減小壓片過程中所得壓片出現開裂的幾率，保證了所得壓片的品質；再者，本發明中通過滾動造粒方式進行造粒，能有效地增強混合粉體的流動性，便于后續將混分粉體均勻且充實地填充在磨具中，從而有效地提高了靶材素坯的成型密度；另外，在造粒過程中，將混合粉體至于微波馬弗爐中能對混合粉體進行充分的加熱，有效地提高了脫膠的效率及效果，也消除了粘接劑對所制備的靶材質量及性能的影響；采用本發明制備的鈣鈦礦型鐵酸釤靶材不僅致密度十分地優異，而且其還具有優良的抗彎強度。
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    通用技術
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