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    > MEMS芯片保護蓋的移除方法

    MEMS芯片保護蓋的移除方法

    746   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:54
    本發明涉及一種MEMS芯片保護蓋的移除方法，芯片包括芯片主體和罩蓋于芯片主體的頂部的保護蓋，該移除方法包括如下步驟：提供固定板，將芯片主體的底部粘貼于固定板的頂面；提供連接板，將連接板粘貼于保護蓋的頂部，且連接板垂直于固定板；壓住固定板，并向上抬起連接板，以使得連接板帶動保護蓋向上運動，從而移除保護蓋。本發明有效地解決了腐蝕液容易造成元件腐蝕或損傷的問題，既能夠移除保護蓋，又能夠保護芯片主體，以方便后期對芯片的分析，降低了芯片因試驗以外的原因失效的風險，提升分析結果的可靠性。
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    聲明：
    “MEMS芯片保護蓋的移除方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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