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    真空電弧自動引弧裝置

    1408   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:37:12
    本實用新型涉及一種多弧離子鍍真空電弧自動引弧裝置,該裝置可以在鍍膜開始,進行自動引弧;在鍍膜過程中,電弧熄滅或有熄滅的趨勢時,由反饋單元監測電弧工作狀態并將其作為識別信號用于控制單元作出判斷是否發出引弧信號,從而保證薄膜沉積過程的順利進行,消除由于電弧熄滅而造成的反應氣體氣壓的波動而造成的對薄膜成分、結構、色彩影響的不利因素;本實用新型采用電觸發引弧代替機械引弧;避免了使用引弧棒(絲)等機械方式引弧造成的污染、也可以避免引弧絲與陰極粘連所造成的失效問題。
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