本發明涉及使金屬氟氧化物mo(6-x)/2fx(0＜x＜6、m＝w或mo)與含氟氣體進行化學反應而轉換為mf6的處理方法及使用該處理方法去除金屬氟氧化物(metaloxyfluorides)的沉積物等的清潔方法。
背景技術：
：作為化學氣相沉積鎢(w)及鎢化合物、鉬(mo)或鉬化合物時的前體，已知有六氟化鎢或六氟化鉬。作為這些前體的工業制造方法，已知有如反應式(1-1)～(1-2)、反應式(2-1)～(2-2)所示，使金屬鎢與氟或三氟化氮、使金屬鉬與氟或三氟化氮接觸的方法。w(s)+3f2(g)→wf6(g)反應式(1-1)w(s)+2nf3(g)→wf6(g)+n2(g)反應式(1-2)mo(s)+3f2(g)→mof6(g)反應式(2-1)mo(s)+2nf3(g)→mof6(g)+n2(g)反應式(2-2)六氟化鎢與六氟化鉬在工業制造方法中使用了金屬鎢或金屬鉬，但在金屬鎢或金屬鉬中包含氧化物、及表面氧化物作為雜質，原料的氟或三氟化氮與這些氧化物反應，生成wof4或moof4等金屬氟氧化物mo(6-x)/2fx(0＜x＜6、m＝w或mo)作為雜質。wo3(s)+2f2(g)→wof4+o2(g)反應式(3-1)wo3(s)+4/3nf3(g)→wof4+o2(g)+2/3n2(g)反應式(3-2)moo3(s)+2f2(g)→moof4+o2(g)反應式(4-1)moo3(s)+4/3nf3(g)→moof4+o2(g)+2/3n2(g)反應式(4-2)金屬氟氧化物也會因作為產物的六氟化鎢或六氟化鉬與金屬氧化物接觸而生成。wo3(s)+2wf6(g)→3wof4反應式(3-3)wo3(s)+2wf6(g)→3wof4反應式(4-3)進而，金屬氟氧化物也會因作為產物的六氟化鎢或六氟化鉬與水(h2o)進行接觸而生成。h2o+wf6(g)→wof4+2hf反應式(3-4)h2o+mof6(g)→moof4+2hf反應式(4-4)另外，在將六氟化鎢或六氟化鉬用作化學氣相沉積鎢或鎢化合物、鉬或鉬化合物時的前體的情況下，使用與成為被處理基板的si晶圓的si進行反應的方法(反應式(5-1))、或與添加的h2進行反應的方法(反應式(5-2))等。但在成為被處理基板的si晶圓因自然氧化膜等而存在sio2的情況下，生成金屬氟氧化物(反應式(5-3))。另外，也會因腔室內的水分而
聲明：
“金屬氟氧化物的處理方法及清潔方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：中央硝子株式會社
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2025年07月09日 ~ 11日 
