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    鈷酸鍶薄膜材料的制備方法

    924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:28:55
    本發明公開了一種鈷酸鍶薄膜材料的制備方法，對鈷酸鍶薄膜材料的磁、電性能進行研究。首先采用球磨法制備鈷酸鍶粉末樣品，然后將該粉末樣品干燥并制成塊狀靶材，最后用脈沖激光沉積法將塊狀靶材沉積在襯底上并退火，得到鈷酸鍶薄膜材料。本發明采用球磨法制得的鈷酸鍶粉末混合比較均勻、粒徑均勻度高，球磨法具有操作簡單、條件溫和、易控制等特點；用脈沖激光沉積法沉積的鈷酸鍶薄膜，具有質量好、均勻性高和材料組分穩定等特點，同時采用晶格常數相近及同為鈣鈦礦結構的襯底上制得的鈷酸鍶薄膜結構更加穩定，而且在鈷酸鍶薄膜樣品觀測到其金屬?半導體轉變過程。
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    聲明：
    “鈷酸鍶薄膜材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    通用技術
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