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    制備AZO靶材的工藝

    1169   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:28:55
    本發明涉及一種制備AZO靶材的工藝，其包括將菱鋅礦粉加入氨水和碳酸氫氨溶液中進行浸出，對浸出液進行除雜、過濾；將過濾后的固體先用氨水溶液洗滌，再用無水乙醇淋洗；接著進行陳化、抽濾，得到前驅體；將前驅體干燥、煅燒，得到納米氧化鋅粉體；將上述納米氧化鋅粉體和氧化鋁粉體加入聚丙烯酸溶液中，形成懸浮液，再對懸浮液進行球磨；接著將過硫酸銨和四甲基乙二胺均勻加入球磨后的懸浮液中，進行真空除氣后倒入模具，并固化、脫模干燥得到生坯；對生坯排膠處理后進行燒結，得到?AZO?靶材。本發明不僅工藝流程較短，設備投資較??；本發明將氧化鋅納米級顆粒通過上述工藝制備的AZO靶材成分分布均勻、密度高，提高了AZO靶材的使用性能。
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    聲明：
    “制備AZO靶材的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    通用技術
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