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    PNNZT基多相共存弛豫鐵電外延薄膜的制備方法

    971   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:29:03
    本發明涉及一種PNNZT基多相共存弛豫鐵電外延薄膜的制備方法，屬于化學工程技術領域。一種PNNZT基多相共存弛豫鐵電外延薄膜的制備方法，包括以下步驟：將同為鈣鈦礦結構的SrTiO3(100/111)單晶基片作為襯底，采用固相合成法和激光脈沖沉積法制備鈣鈦礦結構的La0.7Sr0.3MnO3(100/111)外延薄膜；采用溶膠凝膠法和固相燒結法制備PNNZT靶材，將PNNZT前驅體溶液于室溫下攪拌1.5?2h，并放置24?30h，自然風干，制得凝膠；所得凝膠干燥、煅燒、研磨、壓制制得粒料，所得粒料經過燒結，自然冷卻即得所需的PNNZT靶材；制得的PNNZT靶材利用激光脈沖沉積法在底電極上外延制備出多相共存的弛豫鐵電外延薄膜。本發明的有益效果是獲得具有純度高、致密性好、平均晶粒尺寸小、電場擊穿強度大、電卡效應大等優點的薄膜。
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