本發明公開一種薄膜化質子導體電解質及其制備方法。該制備方法制備的質子導體電解質為鈣鈦礦結構氧化物,其結構特征組成為:BaZr1?xMxO3?δ;式中0≤x≤1,δ表示非化學計量氧;M選自Ce、Y、Al、Yb、Gd、Mg、Ti中的至少一種。該制備方法以螢石結構氧化物致密或多孔片為基體,基體的特征組成為Zr1?xMxO2?δ,式中x,M,δ含義與上述相同;在特定條件下與氣相Ba源發生反應生成薄膜化的質子導體電解質,該薄膜化電解質的厚度小于10μm,氣相Ba源選擇BaCO3、Ba(NO3)2、Ba(CH3COO)2的一種。該制備方法有望用于固體氧化物燃料電池和電解池中。
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