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    對單晶硅生產中回收的氬氣純化的方法

    1171   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:29:07
    本發明公開一種對單晶硅生產中回收的氬氣進行純化的方法。本發明的氬氣純化的方法是：在反應床中均勻裝填純化處理催化劑，并使催化劑表面保持在同一平面，先通入高純氧氣對催化劑進行預氧化處理，反應裝置升溫至100℃?400℃，然后使待純化的氬氣流過催化劑表面，所用的催化劑含Ce、Ni、Sr、Co、Mn、La、Zn、Ga、Mg、Be、Ba、Bi和Cd各組份。本發明的方法使用廉價的鈣鈦礦型復合氧化物催化劑，其反應條件溫和，純化氬氣純度高，純化系統反應可去除CO、H2等，生成CO2與H2O，該工藝方法簡潔，產品純化率較高，符合綠色化學概念，同時適合工業化生產。
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    “對單晶硅生產中回收的氬氣純化的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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