多加熱區 CVD 管式爐
最高溫度
1400 ℃
恒定工作溫度
1300 ℃
爐管直徑
60 毫米
加熱區
2x450 毫米
加熱速率
0-10 ℃/min
應用
KT-CTF14 多區 CVD 爐有 2 個加熱區,最高工作溫度可達 1200℃,爐管為直徑 60mm 的石英管;4 通道 MFC 質量流量計,氣源為 CH4、H2、O2 和 N2;真空站為 4L/S 旋片
真空泵,最大真空壓力可達 10Pa。真空壓力可達 10Pa。
特點
獨立的加熱區,既能產生較長的恒溫區域,又能控制溫度梯度
PID 可編程溫度控制,控制精度高,支持遠程控制和集中控制
高精度 MFC 質量流量計控制、源氣預混合和穩定的供氣速度
不銹鋼真空法蘭,多種適配接口,滿足不同真空泵站設置,密封性好,真空度高
KT-CTF14 Pro 采用一個 7 英寸 TFT 觸摸屏控制器,程序設置和歷史數據分析更友好
技術規格