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    臺階儀

    臺階儀

    422
    規格/型號：暫無
    品牌：Bruker/布魯克
    應用領域：分析檢測
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：上海爾迪儀器科技有限公司
    咨詢電話:：021-61552797（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-02-12
    級別：待認證

    臺階儀說明介紹

    Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀

    Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀


    Dektak Pro? 以其多功能，使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統，具有4?重復性的表現，并提供200毫米平臺選項，在科研以及工業領域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測量方面設立了新的形象，是微電子技術、薄膜與涂層和生命科學應用的理想選擇。

    Dektak Pro可提供：

    ? 測量和分析功能，確保 每次都能獲得準確、嚴謹的數據

    ? 多功能性和便捷性，精簡的軟件和簡便的探針更換

    ? 通過直驅掃描平臺和軟件進步，減少獲得結果的時間

    Dektak Pro產品參數

    測量技術：探針輪廓測量(接觸測量)

    測量功能：二維表面輪廓測量;可選三維測量

    樣品視野：可選放大倍率， 0.275到2.2 mm

    探針傳感器：低慣量傳感器(LIS 3)

    探針壓力：1到15 mg，使用LIS 3傳感器

    低作用力：N-Lite+ 精微力傳感器，0.03到15 mg(可選)

    探針選項：

    探針半徑選項從50 nm到25 μm;

    高徑比(HAR)針尖200 μm x 20 μm;

    可根據客戶要求提供定制針尖

    樣品臺 XY載物臺：

    手動100 mm(4")，手動調平;

    電動150 mm(6")，手動調平;

    帶編碼器電動200 mm(8")，手動調平

    樣品旋轉臺：手動或自動，連續360°

    減震裝置：減震裝置可用(選配)

    掃描長度范圍：55 mm(2");200 mm(8")具備掃描拼接能力

    每次掃描數據點：可達120,000個數據點

    樣品厚度可達：50 mm (1.95")

    晶圓尺寸可達：200 mm (8")

    臺階高度重復性：4 ?, 1 sigma ( ≤1 μm 標準臺階樣品)

    垂直范圍：1 mm (0.039")

    垂直分辨率：1 ? (@ 6.55 μm 范圍)

    輸入電壓：100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz

    溫度范圍：工作范圍20到 25°C (68 到 77oF)

    濕度范圍：≤80%, 無冷凝

    系統尺寸與重量：

    尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H);

    重量：34 kg(75 lb);

    外殼尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" Lx 23" W x 17.5" H);

    外殼重量：5.0 kg(11 lb)
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    臺階儀 布魯克臺階儀
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    上海爾迪儀器科技有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    分析檢測
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    021-61552797
    詳細地址：
    -

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