權利要求書： 1.一種LED芯片晶圓分選機，應用于半導體制造MES系統中，其特征在于，所述LED芯片晶圓分選機包括：基座，所述基座上設置有至少一個料盒運輸通道以及與所述料盒運輸通道連通的上料盒分選區域和下料盒分選區域；
上料盒固定機構，設置于所述上料盒分選區域；
下料盒固定機構，設置于所述下料盒分選區域；
料盒運輸機構，用于將所述上料盒固定機構和所述下料盒固定機構從所述料盒運輸通道分別移動至所述上料盒分選區域和所述下料盒分選區域；
分選機構，設置于所述基座上，用于根據所述半導體制造MES系統提供的晶圓信息將所述上料盒固定機構中存放的不同晶圓分揀至所述下料盒固定機構中。
2.根據權利要求1所述的LED芯片晶圓分選機，其特征在于，所述料盒運輸通道設置于所述基座相對的兩側。
3.根據權利要求1所述的LED芯片晶圓分選機，其特征在于，所述上料盒固定機構和所述下料盒固定機構均包括：底座；
多個固定支架，所述固定支架陣列設置在所述底座上。
4.根據權利要求3所述的LED芯片晶圓分選機，其特征在于，所述料盒運輸機構包括：第一導軌座，設置于所述基座上；
第一導軌，固定于所述底座的下方并滑動設置在所述第一導軌座上；
第一驅動件，用于驅動所述第一導軌沿所述第一導軌移動。
5.根據權利要求4所述的LED芯片晶圓分選機，其特征在于，所述驅動件為設置于所述基座上的氣缸。
6.根據權利要求1所述的LED芯片晶圓分選機，其特征在于，所述分選機構包括：兩個相對設置的第二導軌，所述第二導軌設置于所述基座上并位于所述料盒運輸通道上方，所述第二導軌的延伸方向垂直于所述料盒運輸通道的延伸方向；
跨梁，其滑動設置在兩個所述第二導軌上，所述跨梁的延伸方向平行于所述料盒運輸通道的延伸方向；
真空吸盤機械手，滑動設置在所述跨梁上；
驅動裝置，用于驅動所述跨梁在所述第二導軌上滑動。
7.根據權利要求6所述的LED芯片晶圓分選機，其特征在于，所述驅動裝置包括：第一帶輪機構，設置在其中一個所述第二導軌的一端，第一帶輪機構上的皮帶與所述跨梁的一端連接；
第二帶輪機構，設置在另一個所述第二導軌的一端，第二帶輪機構上的皮帶與所述跨梁的另一端連接；
第二驅動件，設置在所述第二帶輪機構上，用于驅動第二帶輪機構上的帶輪旋轉；
同步傳動桿，其
聲明：
“LED芯片晶圓分選機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：江西兆馳半導體有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
