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    去除工業硅中硼的方法

    1176   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:32:47
    本發明一種工業硅除硼的方法屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域,特別涉及一種利用電子束熔煉技術將工業硅中的雜質硼去除的方法。該方法將工業硅料放入純度為99.9%以上的石英環中,在電子束作用下熔煉,利用高真空度將氧化硼去除。先將工業硅料放入石英環中;再將石英環放入水冷銅坩堝中,關閉真空裝置蓋。其所采用裝置由真空裝置蓋、真空圓桶構成裝置的外殼,真空圓桶內腔即為真空室?？梢詫⒎帜禂递^大的硼用電子束熔煉去除,有效提高了多晶硅的純度,具有效率高、裝置簡單、節約能源的優點。
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    “去除工業硅中硼的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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