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    濺射靶用靶材的制造方法

    1082   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:01
    本發明公開一種靶材的制造方法,是利用粉末冶金法制造濺射靶的靶材的方法,其包括:對于每一個成型后的被燒結體,從該被燒結體的一端開始進行燒結的加熱工序;該加熱工序優選為,對每一個所述被燒結體,使該被燒結體同時跨過兩個以上的設為不同溫度的相鄰區域、一邊搬送一邊加熱的工序。根據本發明,在加熱工序中,對于每一個被燒結體,升溫時通過在其兩端設定溫度差,可以從一端開始順序加熱,從而進行燒結,即,在制造長尺寸以及大型的靶材時,也可以使燒結工序從被燒結體的一端開始順序進行,使該燒結體的由燒結引起的收縮也順序產生,因此,可以提高最終獲得的靶材的密度,改善密度不均的同時還可以防止發生彎曲變形以及裂紋。
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