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    濺射靶材

    779   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:07
    本發明是由貴金屬構成的濺射靶材,其特征在于,具有相對于濺射面沿法線方向生長的柱狀結晶組織,本發明解決了具有該特征的濺射靶材的問題。本發明不產生由熔解鑄造法或粉末冶金法得到的濺射靶材產生的微小成堆塊狀體脫落的問題,是能夠得到良好薄膜特性、同時內部缺陷極少的高純度濺射用貴金屬靶材。
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    聲明：
    “濺射靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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