本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域。一種電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的設備,設備由爐門及真空爐壁構成真空設備,真空設備的內腔即為真空室;真空室底部固定安裝拉錠機構,拉錠機構上安裝熔煉坩鍋,熔煉坩鍋外套裝加熱裝置,真空室底部還安裝有水冷支撐桿,水冷銅坩堝安裝于水冷支撐桿之上,加料裝置固定安裝于水冷銅坩堝上方真空爐壁頂部內側,水冷銅坩堝通過導流裝置連通熔煉坩堝,電子槍安裝于真空爐壁頂部,放氣閥安裝于真空爐壁之上。本實用新型結構簡單,構思獨特,一臺設備綜合利用電子束熔煉除磷、渣濾熔煉除硼及定向凝固除金屬技術去除多晶硅中的磷、硼和金屬雜質,結構緊湊,設備集成度高,提純效果好,生產效率高。
聲明:
“電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)