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    鈣鈦礦紅外光電晶體管及其制備方法

    729   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-01 00:30:12
    本發明實施例提供一種鈣鈦礦紅外光電晶體管及其制備方法，包括：基礎襯底；源漏金屬電極沉積于基礎襯底上表面；金屬氧化物半導體薄膜和源漏金屬電極在同一平面上；電荷傳輸界面層將圖形化的有機無機雜化紅外探測鈣鈦礦材料層與源漏金屬電極、金屬氧化物半導體薄膜分隔開；圖形化的有機無機雜化紅外探測鈣鈦礦材料層完全覆蓋于電荷傳輸界面層上、位于金屬氧化物半導體薄膜正上方，并且投影面積等于金屬氧化物半導體薄膜；鈍化層將所述電荷傳輸界面層、圖形化的有機無機雜化紅外探測鈣鈦礦材料層全部覆蓋，投影面積等于基礎襯底；疏水層薄膜覆蓋除金屬氧化物半導體薄膜外的所有鈣鈦礦紅外光晶體導管器件部分。
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    聲明：
    “鈣鈦礦紅外光電晶體管及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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